炬丰科技半导体工艺GaAs和GaN

书籍：《炬丰科技-半导体工艺》

文章：GaAs和GaN的湿热氧化

编号：JFKJ-21-

作者：炬丰科技

介绍

本章专门讨论AIIIBV半导体化合物的热湿氧化，主要是砷化镓和氮化镓。它分为几个主题，包含单斜晶系氧化镓1b-Ga2O3特性数据、氧化物制造技术和应用说明。在第一部分中，对上述半导体氧化物的性质进行了表征。然后描述了特别

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